Les principaux composants d’un microscope électronique à balayage comprennent :
Source d'électrons – C'est là que les électrons sont générés thermiquement à une tension de 1-40 kV. Les électrons se condensent en faisceaux utilisés pour créer des images et des analyses simulées. Trois types de sources d'électrons peuvent être utilisés. e fil de tungstène, hexaborure de lanthane et pistolet à émission de champ (FEG)
Lentilles – Il comporte plusieurs lentilles condensatrices qui focalisent le faisceau d’électrons de la source à travers la colonne en un faisceau étroit, formant un point appelé taille de point.
Bobine de balayage – utilisée pour dévier le faisceau sur la surface de l’échantillon.
Détecteur – se compose de plusieurs détecteurs capables de distinguer les électrons secondaires, les électrons rétrodiffusés et les électrons rétrodiffusés diffractés. La fonctionnalité du détecteur dépend fortement de la vitesse de tension et de la densité de l'échantillon.
Périphérique d'affichage (périphérique de sortie de données)
source de courant
Système de vide
Comme un microscope électronique à transmission, un microscope électronique à balayage doit être exempt de vibrations et de tout élément électromagnétique.
